準分子激光剝蝕系統采用精細化控制單元，高能量的“平頂(homogenized-flat)”激光和飛速響應的“邊對邊(shot-to-shot)”技術帶來高分辨率空間分析能力。創新的“動態剝蝕功能(fire-on-the-fly)”采用高分辨率XY移動平臺技術，同時移動平臺能夠實時觸發激光的發射，*應用于線掃描的深度剝蝕和元素分布圖的分析。另外，高分辨率GigE真彩顯微攝像觀察技術，觀察單元光學分辨率小于2μm，提供透射、反射和環形可調亮度的照明和十字交叉偏振系統，能夠實時顯示實時縮放的動態寬視野場，實現快速樣品定位導航。結合足夠高的剝蝕能量(50J/cm2)，AnalyteHE能夠輕松剝蝕各類樣品甚至是具有挑戰性的物質，包括高純石英、彈性碳酸鹽等樣品，同時光束能量均勻化分布，以確保在整個光斑尺寸范圍內和各種材料上均勻剝蝕。
準分子激光剝蝕系統主要性能參數：
1.超短193nm激光波長
2.脈沖寬度＜20ns
3.足夠剝蝕石英及螢石的能量密度，高達50J/cm2
4.密閉氣室
5.激光束能量分布均勻化，剝蝕均勻
6.標配100x100mm移動平臺，可選150x150mm平臺
7.同步“動態剝蝕功能”實現精確的剝蝕深度控制
8.獨立的視頻和激光光學控制單元，能夠更好的查看樣品剝蝕點
9.剝蝕光斑范圍1-170μm
10.標配30個剝蝕光斑，光斑可定制
11.標配HelExII雙體積雙氣路渦流樣品池
準分子激光剝蝕Geostar軟件，可實現與ICP連接測試，準分子激光最小束斑可達及微米，剝蝕坑底部平坦，形狀規則，可利用激光共聚焦或原子力顯微鏡測量剝蝕坑體積。
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